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高精純石墨盤(pán)和慣例石墨盤(pán)在純度、功能、應(yīng)用領(lǐng)域和制備工藝等方面存在顯著差異,詳細(xì)如下:
純度
    高精純石墨盤(pán):碳含量一般超越99.9%,甚至更高,對(duì)雜質(zhì)含量要求極為嚴(yán)厲,一般要求雜質(zhì)含量在0.01%以下。高純度使得其在一些對(duì)資料純凈度要求極高的領(lǐng)域能夠發(fā)揮關(guān)鍵作用。
    慣例石墨盤(pán):碳含量一般在94%至99%之間,雜質(zhì)含量相對(duì)較高。
功能
高精純石墨盤(pán):
    化學(xué)穩(wěn)定性:極高,幾乎不與任何化學(xué)物質(zhì)產(chǎn)生反應(yīng),在化工行業(yè)中,特別是需求抗腐蝕、耐高溫的環(huán)境下表現(xiàn)出色。
    電導(dǎo)率:電阻率極低,僅為慣例石墨盤(pán)的一小部分,在電子和電氣行業(yè)中具有共同優(yōu)勢(shì),常用于制作電極和電接觸資料,能下降能耗,提高設(shè)備效率。
    熱導(dǎo)率:是慣例石墨盤(pán)的兩倍以上,在需求快速熱傳導(dǎo)的應(yīng)用中至關(guān)重要,如在半導(dǎo)體制作中,能迅速均勻地傳遞熱量,削減溫度梯度,確保晶圓的均勻加熱。
    機(jī)械強(qiáng)度和耐性:在高溫下表現(xiàn)出更好的功能,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性更好,例如在冶金行業(yè)中,可用于制作坩堝和模具,在極點(diǎn)溫度下保持形狀而不變形或破裂。
    外表硬度:較高,耐磨功能優(yōu)異,在機(jī)械加工中,常被用作潤(rùn)滑劑或涂層,能削減沖突,延伸設(shè)備的使用壽命,甚至在某些高精度機(jī)械加工中可代替?zhèn)鹘y(tǒng)金屬資料,削減磨損和提高加工精度。
    慣例石墨盤(pán):化學(xué)穩(wěn)定性、電導(dǎo)率、熱導(dǎo)率、機(jī)械強(qiáng)度和耐性等方面相對(duì)較弱,難以滿意一些對(duì)資料功能要求極高的應(yīng)用場(chǎng)景。
應(yīng)用領(lǐng)域
高精純石墨盤(pán):
    半導(dǎo)體制作:用于晶圓加熱、熱管理和等離子體刻蝕設(shè)備等。
    新能源:作為鋰離子電池的負(fù)極資料,推動(dòng)電動(dòng)車(chē)和可再生能源的發(fā)展。
    核工業(yè):由于其優(yōu)異的中子吸收能力和高溫穩(wěn)定性,用于制作核反應(yīng)堆的控制棒和屏蔽資料。
    化工:抗腐蝕性使其成為化工設(shè)備的抱負(fù)資料。
    機(jī)械加工:作為高精度加工的潤(rùn)滑劑和模具資料。
    慣例石墨盤(pán):首要應(yīng)用于一些對(duì)資料功能要求不高的領(lǐng)域,如一般性的耐火資料制作、一般機(jī)械加工的輔助工具等。
制備工藝
    高精純石墨盤(pán):制備過(guò)程更為雜亂和嚴(yán)厲,需求選用灰分極低的質(zhì)料,多數(shù)采用模壓或等靜壓成型,石墨化溫度高,并在石墨化過(guò)程中通入鹵族元素氣體以下降雜質(zhì)含量,某些高精純石墨器件還會(huì)在外表涂厚度為10-20um的熱解石墨以提高抗氧化性。
    慣例石墨盤(pán):制備工藝相對(duì)簡(jiǎn)略,對(duì)質(zhì)料和工藝參數(shù)的要求沒(méi)有那么嚴(yán)苛。

 高精純石墨盤(pán)

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