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半導體燒結(jié)石墨載具的流程是怎么樣的

作者:jcshimo 發(fā)布時間:2025-12-13 03:24:02

半導體燒結(jié)石墨載具的流程首要包括以下進程:
一、模具預處理
    清洗:對石墨載具進行徹底的清洗,去除外表的油污、塵埃等雜質(zhì)。這是為了保證模具在燒結(jié)進程中不受雜質(zhì)影響,保證燒結(jié)質(zhì)量。
二、模具拼裝
    辨認部件:了解石墨載具的各個部件,如壓頭、墊片、套筒等。
    拼裝次序:按照規(guī)劃要求,依次拼裝石墨載具的各個部件。拼裝進程中要保證各部件之間的緊密配合,防止在燒結(jié)進程中出現(xiàn)漏粉或壓力不均的狀況。
三、填充粉末
    挑選粉末:根據(jù)燒結(jié)工藝和產(chǎn)品要求,挑選適合的粉末資料。
    填充辦法:將待燒結(jié)的粉末資料均勻填充到石墨載具中。填充進程中要注意粉末的密度和散布,保證滿意工藝要求。有時需求在粉末中參加一定量的粘結(jié)劑或其他添加劑,以提高成型效果和燒結(jié)功能。
四、放置石墨紙
    在模具的上壓頭和下壓頭與粉末接觸的面上,別離放置石墨紙。石墨紙的作用是在燒結(jié)進程中防止粉末與壓頭粘連,便于后續(xù)的脫模操作。
五、燒結(jié)準備
    放入燒結(jié)設備:將拼裝好并裝填好粉末的石墨載具放入燒結(jié)爐或相應的燒結(jié)設備中。
    銜接電源:關于需求通電產(chǎn)生焦耳熱的燒結(jié)設備,如放電等離子燒結(jié)設備,需求將模具的電極與燒結(jié)設備的電源銜接。
六、設置燒結(jié)參數(shù)
    根據(jù)待燒結(jié)資料的特性和工藝要求,設置適合的燒結(jié)溫度、壓力、時間等參數(shù)。例如,放電等離子燒結(jié)一般具有極快的升溫速率,但需求在相對較低的燒結(jié)溫度下進行。
七、進行燒結(jié)
    啟動設備:按照設定的參數(shù)啟動燒結(jié)設備,開端燒結(jié)進程。
    監(jiān)控參數(shù):在燒結(jié)進程中,要親近監(jiān)控設備的溫度、壓力等參數(shù),保證燒結(jié)進程的安穩(wěn)進行。一起,要注意調(diào)查模具和粉末的狀態(tài),如有異常狀況應及時處理。
八、冷卻與脫模
    冷卻:燒結(jié)完成后,將石墨載具從燒結(jié)設備中取出,并進行天然冷卻或強制冷卻。冷卻速度要根據(jù)資料的特性和工藝要求來承認,以防止因冷卻過快而導致資料開裂等問題。
    脫模:待模具冷卻至室溫后,進行脫模操作。由于石墨模具具有杰出的潤滑性和耐高溫性,脫模一般比較容易。但在操作進程中仍要小心翼翼,防止損壞燒結(jié)后的制品。
    綜上所述,半導體燒結(jié)石墨載具的流程是一個雜亂而精密的進程,需求嚴格控制各個環(huán)節(jié)的參數(shù)和操作,以保證取得高質(zhì)量的燒結(jié)產(chǎn)品。

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